設備機器


弊社はノウハウに応じた先端測定機と加工機を自社装備しています。
これらの設備によりお客様へ信頼性の高い製品をご提供する事が
出来ます。 展示PHOTOはその一部です。

リングポリッシャー


◆大口径平面はノウハウを反映した自社特製の大型研磨機で加工します

QED社製非球面加工機





◆本装置は自社のノウハウを注入し開発したソフトウエアにより干渉計とデーターリンクしCNC加工除去量がプログラムされ精度を追い込みます 結果はレーザー干渉計または超高精度三次元測定機の測定結果(データー)で提示できます 従来まで非球面量の大きいものは干渉計で全体の一元的データーが取得できないためCNC入力が困難でしたが三次元測定機との相関をとることにより可能となります

当社製GPI使用による自社製32インチ 超大型干渉計





◆大口径〔700mmΦ〕干渉計:精度検証は平面原器を回転させ三面合わせ法による高精度な 平面測定が保証されます(専用原器ホルダー採用)
◆測定方法はフラッシュフェイズ方式で原器と合わせた精度でλ/10(700mmΦ)が確保されています

Zygo社製12インチ&4インチ 大型干渉計





◆干渉計本体;GPI−XP(位相シフト方式)
◆平面原器精度口径12インチ:PV-λ/10
口径4インチ:PV-λ/20

Zygo社製3次元表面粗さ計





<New View 6300>

◆垂直分解能;0.1nm

研磨面の微細構造を数値及び3Dヴュ-で把握する。また非球面形状を干渉計でデーター取得できない場合は本機でステッチング測定を行い非球面量の高い変曲部の部分形状データーを取得して加工にフィードバックします

ミツトヨ製超高精度三次元形状測定機





 <LEGEX9106>

◆大口径の非球面、干渉計で計りにくい祖面や形状等、を研磨前に高精度で形状データを確保し研磨加工量に反映します。
◆非球面量の大きい素子は研磨後でも干渉計データーがごく一部しか取得できないため、三次元測定機データと干渉計データーとで補完して結果を出します。
◆測定精度(0.35+L/1000)μm 
◆測定範囲X=910、Y=1010、Z=805mm

特注蒸着装置





◆イオンアシスト1000mmΦ×2サブストレート

◆1000mmφ製品が2面同時に遊星回転でイオンアシスト蒸着しながら均等膜厚に出来る装置として世界で当社が始めて実用化しハイパワーレーザー装置に使用されるパルス圧縮用大口径回折格子基板の高耐力誘電体多層膜を本機で製作。世界でも当社のみが成膜可能となっている。
◆多層膜は通常空気中で大きな応力が発生し研磨した基板を相当量変形させます。当社の技術は応力を発生させないように膜構造を制御します。
.