加工形状事例

◆平面例：500mmφ平面鏡　平面精度λ/10

◆主として宇宙で使用する望遠鏡の主鏡にリブ構造で軽量化したミラー。構造設計と軽量化率、素材の選択が面精度維持の鍵を握る。ソリッドのミラーより剛性がないため面精度は出し難いので工夫と経験が必要。

◆レーザーロッド発振器
ロッド材質の製法とは別に、ロッド端面の面精度・粗度・平行度・円筒部の精度がレーザ発振光の品質を左右する。

◆ハイパワーレーザー装置のパルス圧縮回折格子
900×450ｍｍの石英基板をλ/10に研磨し、新開発の低応力誘電体多層膜を蒸着し成膜。膜上にリソグラフィーで1470本/mmの溝を形成して回折格子を製作。本品は大阪大学レーザー科学研究所のレーザー装置に組み込まれ世界的な先端成果を収めた発表が大阪大学より発表されている。

面精度　λ/20　角度精度　１秒以下　微小粗さ制御

• ダハプリズム
• プリズムレーザー発振器
• 特殊ダハプリズム
• 偏角１秒ｺｰﾅｰｷｭｰﾌﾞ
• 合成レーザー発振器

• 色素レーザー用色素流体導入器
• 高精度特殊機能合成プリズム
• 石英微小真球　λ/5
• 高精度楕円ミラー　λ/20
• シリンドリカルレンズ

• 赤外受光Siドーム試作品
• 石英ロッドリブ

• 高精度凸凹球面レンズλ/10
• 高精度非球面レンズ
10～300mmΦ　λ/10
• 凸凹非球面ミラー
パラボラ、トロイダル、エリプソイダル
• 円錐レンズ

• 誘電体多層膜　AR、HR
• 金属膜